litho(lithogenic什么意思)

litho，lithogenic什么意思？

这是个医学词汇，表示“致结石的”的意思， adj. litho- 表示“石”，-genic “成因”

mfg代表什么部门？

是制造部门。

MFG(Manufacturing)生产制造部，生产制造部是Fab里人最多的部门， 因为其包含了生产一线工人，制造部的压力很大， 时时刻刻都与生产时效，生产状态相关。里面还包括很多岗位，ME/IE/MPC/MA等， 后续会简单介绍，制造部的部门对应工程部的Litho/Diffusion/Thin film/Etch/CMP等。

半导体litho是什么？

半导体litho是半导体光刻。

芯片多重曝光技术？

多重曝光技术是为了追求更高的图形密度和更小的工艺节点，在普通的涂胶-曝光-显影-刻蚀工艺的基础上开发的，如LELE（litho-etch-litho-etch）、SADP（self aligned double patterning）。

LELE技术将给定的图案分为两个密度较小的部分，通过蚀刻硬掩模，将第一层图案转移到其下的硬掩模上，最终在衬底上得到两倍图案密度的图形。

比如说一台28纳米的光刻机，第一次曝光得到28纳米制程的图形，第二次曝光得到14纳米制程的芯片，通常不会有第三次曝光，因为良品率非常低，像台积电这种技术最高的代工厂，也没能力用28纳米光刻机三次曝光量产芯片。

litho区的洁净等级为？

1、洁净度级别为100级，≥0.5μm尘粒的最大允许数为3500每立方米，≥5μm的最大尘粒数为0每立方米，浮游菌的最大允许数为5每立方米，沉降菌的最大允许数为1每皿。

2、洁净度级别为10000级，≥0.5μm尘粒的最大允许数为350000每立方米，≥5μm的最大尘粒数为2000每立方米，浮游菌的最大允许数为100每立方米，沉降菌的最大允许数为3每皿。

3、洁净度级别为100000级，≥0.5μm尘粒的最大允许数为3500000每立方米，≥5μm的最大尘粒数为60000每立方米，浮游菌的最大允许数为1000每立方米，沉降菌的最大允许数为10每皿。

4、洁净度级别为300000级，≥0.5μm尘粒的最大允许数为10500000每立方米，≥5μm的最大尘粒数为60000每立方米，浮游菌的最大允许数为1000每立方米，沉降菌的最大允许数为15每皿。